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光學元件在各個領域都有廣泛應用，對光學元件的表面加工精度提出越來越高的要求。如何檢測光學元件的加工精度，從而用于優(yōu)化加工方法，保證最終元器件的性能指標，是光學元件加工領域的關鍵問題之一。光學元件的加工精度包括表面質(zhì)量和面型精度，這些參數(shù)會影響其對光信號的傳播，進而影響最終器件的性能。此外，各種新型光學元件也需要檢測其表......