控制系統(tǒng)

基于軟件WINDOWS 10的PC控制系統(tǒng)

程序存儲(chǔ)

100套

工藝過(guò)程監(jiān)控

二維折線圖與數(shù)字實(shí)時(shí)顯示

參數(shù)偏離值設(shè)定

初抽真空時(shí)間、進(jìn)氣量偏差值，實(shí)際功率輸出值

報(bào)錯(cuò)功能

顯示詳細(xì)的報(bào)錯(cuò)信息

數(shù)據(jù)導(dǎo)入導(dǎo)出

USB/TCP IP

選程控制

Team viewer

工藝氣路

兩路進(jìn)氣通道（兩路腐蝕性氣體）

一路沖洗管路

一路泄氣管路

流量計(jì)

MFC流量計(jì)

真空腔體

圓形不銹鋼腔體腔體

尺寸：Φ280mm x D 127mm 約8L

腔體可做防腐

托盤(pán)

鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃

電極

RIE(蝕刻專用)電極配有氣浴

電極水冷

冷卻系統(tǒng)

冷卻真空腔體和電極

發(fā)生器

13.56 MHz 0-600W 自動(dòng)匹配

安全開(kāi)關(guān)

門(mén)開(kāi)關(guān)、皮拉尼開(kāi)關(guān)、真空開(kāi)關(guān)

真空壓力計(jì)

2pcs 電容式真空計(jì)

外形尺寸(W×H×D)

1800mm×2200mm×1800mm

電源

AC 400 V / 50 - 60 Hz / 16 A

真空泵

防腐真空泵抽速不低于90 m³/h

分子泵排氣速度

冷卻系統(tǒng)

冷水機(jī)對(duì)真空腔體，電極進(jìn)行冷卻